Отправить статью по E-mail 
Влияние характера изменения температуры подложки в процессе роста на топологию поверхности пленки Ge/Si(100)
- Авторы: Лунин ЛС1, Бавижев МД1, Сысоев ИА1, Лапин ВА1, Кулешов ДС1, Малявин ФФ1
-
Учреждения:
- Южный научный центр РАН
- Выпуск: № 3 (2012)
- Страницы: 98-103
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.rudn.ru/engineering-researches/article/view/5212
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Об авторах
Л С Лунин
Южный научный центр РАНЮжный научный центр РАН
М Д Бавижев
Южный научный центр РАНЮжный научный центр РАН
И А Сысоев
Южный научный центр РАНЮжный научный центр РАН
В А Лапин
Южный научный центр РАНЮжный научный центр РАН
Д С Кулешов
Южный научный центр РАНЮжный научный центр РАН
Ф Ф Малявин
Южный научный центр РАНЮжный научный центр РАН
Список литературы
- Ismail K., Nelson S.F., Chu J.O., and Meyerson B.S. // Appl. Phys. Lett. 63, 660 (1993).
- Chen H., Guo L.W., Cui Q., Hu Q., Huang Q., and Zhou J.M. // J. Appl. Phys. 79, 1167 (1996).
- Godet J., Pizzagalli L., Brochard S., Beauchamp P. // Phys. Rev. B, 70, 054 109 (2004).
- Bolkhovityanov Yu.B., Deryabin A.S., Gutakovskii A.K., Revenko M.A., Sokolov L.V. // Appl. Phys. Lett., 85, 6140 (2004).
- Luan H.-C., Lim D.R., Lee K.K., Chen K.M., Sandland J.G., Wada K., Kimerling L.C. // Appl. Phys. Lett., 75, 2909 (1999).
- Liu J., Kim H.J., Hul.ko O., Xie Y.H., Sahni S., Bandaru P., Yablonovitch E. // J. Appl. Phys., 96, 916 (2004).
- Halbwax M., Bouchier D., Yam V., D´ebarre D., Nguyen L.H., Zheng Y., Rosner P., Benamara M., Strunk H.P., Clers C. // Appl. Phys. Lett, 97, 064907-1 (2005).
- Болховитянов Ю.Б., Гутаковский А.К., Дерябин А.С., Пчеляков О.П., Соколов Л.В. «Возможности и основные принципы управления пластической релаксацией пленок GeSi/Si и Ge/Si ступенчато изменяемого состава» // Физика и техника полупроводников. - 2008. - Т. 42, в. 1. - С. 3-22.
- Болховитянов Ю.Б., Пчеляков О.П., Соколов Л.В., Чикичев С.И. // ФТП, 37, 513 (2003).
- Бурбаев Т.М., Заварицкая Т.Н., Курбатов В.А., Мельник Н.Н., Цветков В.А., Журавлев К.С., Марков В.А., Никифоров А.И. «Оптические свойства монослоев германия на кремнии» // Физика и техника полупроводников. - 2001. - Т. 35. - Вып. 8. - С. 979-984.
- Зенгуил Э. Физика поверхности. - М.: Мир, 1990.
