Отправить статью по E-mail 
Интерференционная холоэллипсометрия «in situ» прозрачного двумерного одноосного кристалла при нормальном отражении лазерного излучения
- Авторы: Али М.1, Качурин Ю.Ю.1, Кирьянов А.П.2, Рыжова Т.А.3, Шапкарин И.П.4
-
Учреждения:
- Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана
- Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН
- Российский университет дружбы народов
- Московский государственный университет дизайна и технологий
- Выпуск: № 1 (2012)
- Страницы: 77-84
- Раздел: Статьи
- URL: https://journals.rudn.ru/miph/article/view/8776
Цитировать
Полный текст
Аннотация
Об авторах
Мухаммед Али
Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана
Email: MochmedAli2206@jmail.com
Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана
Юрий Юрьевич Качурин
Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана
Email: caich@mail.ru
Национальный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Баумана
Анатолий Павлович Кирьянов
Научно-технологический центр уникального приборостроения РАННаучно-технологический центр уникального приборостроения РАН
Татьяна Александровна Рыжова
Российский университет дружбы народовРоссийский университет дружбы народов
Игорь Петрович Шапкарин
Московский государственный университет дизайна и технологийМосковский государственный университет дизайна и технологий
Список литературы
- Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ: основы и применения. - М.: МГУДТ, 2003. - 221 с. [Kirjyanov A. P. Goloehllipsometriya in situ: osnovih i primeneniya. - M.: MGUDT, 2003. - 221 s. ]
- Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия // Лазерная интерферометрия: Межвед. сб. - М.: МФТИ, 1993. - С. 62-68. [Kiryanov A. P. Goloehllipsometriya in situ: osnovih i primeneniya. - M.: MGUDT, 2003. - 221 s. ]
- In Situ Spectroscopic Ellipsometry as a Versatile Tool for Studying Atomic Layer Deposition / E. Langereis, S. B. S. Heil, H. C. M. Knoops et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2009. - Vol. 42. - P. 073001.
- Алфёров Ж.И. Нанотехнологии: перспективы развития в России // Аналит. обзор по материалам круглого стола «Проблемы законодательного регулирования и государственной политики по развитию нанотехнологий в Российской Федерации». - 2005. [Alfyorov Zh. I. Nanotekhnologii: perspektivih razvitiya v Rossii // Analit. obzor po materialam kruglogo stola «Problemih zakonodateljnogo regulirovaniya i gosudarstvennoyj politiki po razvitiyu nanotekhnologiyj v Rossiyjskoyj Federacii». - 2005. ]
- Kainer G.B. Problems of Metrological Support for Nanotechnology of High-Precision Component Metal-Working // Нанотехника. - 2007. - No 1. - Pp. 52- 56.
- Метрологические методики абсорбционной и люминесцентно-эмиссионной спектрометрической автоматизированной диагностики материалов и структур микро-и наноэлектроники / К. А. Валиев, Л. В. Великов, А. П. Кирьянов, Е. П. Ляшенко // Труды ФТИАН. «Ионно-лучевая обработка материалов в микро-и наноэлектронике». - М.: Наука, 1999. - Т. 15. - С. 170. [Metrologicheskie metodiki absorbcionnoyj i lyuminescentnoehmissionnoyj spektrometricheskoyj avtomatizirovannoyj diagnostiki materialov i struktur mikro-i nanoehlektroniki / K. A. Valiev, L. V. Velikov, A. P. Kirjyanov, E. P. Lyashenko // Trudih FTIAN. «Ionno-luchevaya obrabotka materialov v mikroi nanoehlektronike». - M.: Nauka, 1999. - T. 15. - С. 170. ]
- Brodsky A.M., Urbakh M.I. On the Dependence of Light Reflection from Metalson Adatom Characteristic. - 1971. - Vol. 88. - Pp. 633-644.
- Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. - М.: Мир, 1981. - 584 с. [Azzam R., Bashara N. Ehllipsometriya i polyarizovannihyj svet. - M.: Mir, 1981. - 584 s. ]
- Kiryanov A.P. On the ultrafast holoellipsometry // Intern. Conf. Micro-and nanoelectronics 2005. Book of abstract. - Moscow, Zvenigorod, Russia, 2005. -Pp. 2-17.
