Discrete and Continuous Models and Applied Computational ScienceDiscrete and Continuous Models and Applied Computational ScienceDiscrete and Continuous Models and Applied Computational Science2658-46702658-7149Peoples' Friendship University of Russia named after Patrice Lumumba (RUDN University)8776ArticlesСтатьиInterference Holoellipsometry "in situ" of a Transparent Two-Dimensional Uniaxial Crystal at Normal Angle Laser Radiation ReflectionИнтерференционная холоэллипсометрия «in situ» прозрачного двумерного одноосного кристалла при нормальном отражении лазерного излученияAliMАлиМухаммедBauman Moscow State Technical UniversityНациональный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.БауманаMochmedAli2206@jmail.comKachurinYu YuКачуринЮрий ЮрьевичBauman Moscow State Technical UniversityНациональный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.Бауманаcaich@mail.ruKiryanovA PКирьяновАнатолий ПавловичScientific and Technological Center for Unique Instrumentation of RASНаучно-технологический центр уникального приборостроения РАН-RyjovaT AРыжоваТатьяна АлександровнаРоссийский университет дружбы народов; People's Friendship University of RussiaРоссийский университет дружбы народов-ShapkarinI PШапкаринИгорь ПетровичMoscow State University of Design and TechnologyМосковский государственный университет дизайна и технологий-Bauman Moscow State Technical UniversityНациональный исследовательский университет МГТУ им.Н.Э.БауманаScientific and Technological Center for Unique Instrumentation of RASНаучно-технологический центр уникального приборостроения РАНPeople's Friendship University of RussiaРоссийский университет дружбы народовMoscow State University of Design and TechnologyМосковский государственный университет дизайна и технологий150120121NO1 (2012)№1 (2012)778408092016Copyright ©; 2012, Али М., Качурин Ю.Ю., Кирьянов А.П., Рыжова Т.А., Шапкарин И.П.2012Али М., Качурин Ю.Ю., Кирьянов А.П., Рыжова Т.А., Шапкарин И.П.http://creativecommons.org/licenses/by/4.0https://journals.rudn.ru/miph/article/view/8776The following issues are considered in the paper: a) method of the in situ interference holoellipsometry (ellipsometry with the complete set of measured parameters: modules and phases of complex amplitude reflection coefficients for linear p- and s-polarizations) of a transparent two-dimensional uniaxial crystal at normal reflection angle of the laser radiation under the condition that the crystal optical axis belongs to the reflecting surface; b) schematic of the holoellipsometer realizing the method and employing the Michelson interferometer with phase modulation of the radiation.В работе представлены: а) метод интерференционной холоэллипсометрии in situ (эллипсометрия полного набора измеряемых параметров: модулей и фаз комплексных амплитудных коэффициентов отражения света с линейными p- и s-поляризациями) при нормальном отражении лазерного излучения от прозрачного двумерного одноосного кристалла с оптической осью в плоскости отражающей поверхности; б) реализующий предложенный метод холоэллипсометр на основе интерферометра Майкельсона с фазовой модуляцией лазерного излучения.ellipsometryinterferenceMichelson interferometercomplex refractive indexpolarization of lightellipsometerэллипсометрияинтерференцияинтерферометр Майкельсонакомплексный показатель преломленияполяризация светаэллипсометр1.Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ: основы и применения. - М.: МГУДТ, 2003. - 221 с. [Kirjyanov A. P. Goloehllipsometriya in situ: osnovih i primeneniya. - M.: MGUDT, 2003. - 221 s. ]2.Кирьянов А.П. Голоэллипсометрия // Лазерная интерферометрия: Межвед. сб. - М.: МФТИ, 1993. - С. 62-68. [Kiryanov A. P. Goloehllipsometriya in situ: osnovih i primeneniya. - M.: MGUDT, 2003. - 221 s. ]3.In Situ Spectroscopic Ellipsometry as a Versatile Tool for Studying Atomic Layer Deposition / E. Langereis, S. B. S. Heil, H. C. M. Knoops et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2009. - Vol. 42. - P. 073001.4.Алфёров Ж.И. Нанотехнологии: перспективы развития в России // Аналит. обзор по материалам круглого стола «Проблемы законодательного регулирования и государственной политики по развитию нанотехнологий в Российской Федерации». - 2005. [Alfyorov Zh. I. Nanotekhnologii: perspektivih razvitiya v Rossii // Analit. obzor po materialam kruglogo stola «Problemih zakonodateljnogo regulirovaniya i gosudarstvennoyj politiki po razvitiyu nanotekhnologiyj v Rossiyjskoyj Federacii». - 2005. ]5.Kainer G.B. Problems of Metrological Support for Nanotechnology of High-Precision Component Metal-Working // Нанотехника. - 2007. - No 1. - Pp. 52- 56.6.Метрологические методики абсорбционной и люминесцентно-эмиссионной спектрометрической автоматизированной диагностики материалов и структур микро-и наноэлектроники / К. А. Валиев, Л. В. Великов, А. П. Кирьянов, Е. П. Ляшенко // Труды ФТИАН. «Ионно-лучевая обработка материалов в микро-и наноэлектронике». - М.: Наука, 1999. - Т. 15. - С. 170. [Metrologicheskie metodiki absorbcionnoyj i lyuminescentnoehmissionnoyj spektrometricheskoyj avtomatizirovannoyj diagnostiki materialov i struktur mikro-i nanoehlektroniki / K. A. Valiev, L. V. Velikov, A. P. Kirjyanov, E. P. Lyashenko // Trudih FTIAN. «Ionno-luchevaya obrabotka materialov v mikroi nanoehlektronike». - M.: Nauka, 1999. - T. 15. - С. 170. ]7.Brodsky A.M., Urbakh M.I. On the Dependence of Light Reflection from Metalson Adatom Characteristic. - 1971. - Vol. 88. - Pp. 633-644.8.Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. - М.: Мир, 1981. - 584 с. [Azzam R., Bashara N. Ehllipsometriya i polyarizovannihyj svet. - M.: Mir, 1981. - 584 s. ]9.Kiryanov A.P. On the ultrafast holoellipsometry // Intern. Conf. Micro-and nanoelectronics 2005. Book of abstract. - Moscow, Zvenigorod, Russia, 2005. -Pp. 2-17.